“三星EUV极紫外光刻工厂量产：7/6/5/4/3nm都可以用”

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三星表示，位于韩国京畿道华城市的v1工厂已经开始批量生产7nm 7lpp、6nm 6lpp工艺，这也是世界上第一家专门用于euv极紫外光刻工艺的代替品工厂。

据介绍，三星7lpp、6lpp工艺以生产先进的移动soc芯片为首要，本赛季陆续出货，具体客户尚未公布，但7lpp似乎将成为对外代理商主力，6lpp为三星

三星表示，与7lpp相比，6lpp可以增加约10%的晶体管密度，降低功耗，但相互兼容，与7lpp工艺设计的ip相比可以直接复用，因此可以大幅降低价值成本。

在路线图中，三星还计划了5lpe、4lpe、3gae、3gap等更先进的工艺，均采用了euv极紫外光刻，其中5nm、4nm均被视为7nm工艺的深度升级，为3nm工艺

高通刚发布的第三代5g基带骁龙x60是使用三星的5纳米工艺制造的，3纳米将于今年完成开发，放弃采用多年的finfet晶体管架构。

三星v1工厂将于年2月开工建设，2019年下半年开始试产，未来将迅速扩大产能，到今年年底，7lpp euv和更新技术的生产总值将是去年年底的3倍，累计投资也将达到60亿美元。

来源：亚洲公益报